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国内领先的专注于'先进材料先进装备'的高新技术企业，围绕硅、蓝宝石、碳化硅三大主要半导体材料开发一系列关键设备，并延伸至化合物衬底材料领域。 Served Industries: 半导体, 光伏

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8英寸「单片式硅外延生长炉』

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6英寸「碳化硅外延炉』

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6英寸「立式碳化硅外延炉』

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6英寸「双片式碳化硅外延炉』

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8英寸「炉管』

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12英寸「炉管』

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先进制程及功率半导体装备（部分产品）

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